信息摘要:
半导体是一种作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展等各方面的角度来看,半导体都是比较重要的存在。但是由于半导体工艺对于操作间的要求较高,生产过程中也难免会产生
半导体是一种作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展等各方面的角度来看,半导体都是比较重要的存在。但是由于半导体工艺对于操作间的要求较高,生产过程中也难免会产生有机废气,那么半导体行业的废气特征和k8凯发-凯发平台该如何做呢?
首先半导体行业的废气排放具有排气量大、排放浓度低的特点。产生的废气也属于vocs有机废气,废气会逸散在生产车间内。废气的主要成分来源如下图:
rto废气处理设备
半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中,这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前,焚烧这种处理净化方式较为适用于这种气体排放。
废气焚烧炉装置
焚烧炉也广泛用于半导体工业,处理各种有机废气,并通过热氧化将有机物质转化为co2和水。同时焚烧也是一种处理废气的好方法,有稳定的流量和浓度。在热氧化中,有机废气流被加热,气相中的有机物被氧化。为了节省燃料的使用,通常使用热交换器来回收焚烧产生的热量,以预热输入的气体。这种方法通常用于处理大流量、低浓度的气体。